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8486103000 制造单晶柱或晶圆用的切割设备 台/千克 13% 详情
8486102000 制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 台/千克 13% 详情
8486101000 利用温度变化处理单晶硅的机器及装置 台/千克 13% 详情